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JULABO温度控制器可以减少生产时间

JULABO温度控制器可以减少生产时间

更新时间:2023-06-07

访问量:325

厂商性质:经销商

生产地址:欧洲

简要描述:
JULABO温度控制器可以减少生产时间
半导体生产中的许多工艺都必须精确控制温度。在几乎无限个单独的步骤中,应用极薄的层,部分遮盖,并以绝对精度去除未遮蔽的部件。蚀刻槽必须保持在最佳温度范围内,以保持湿化学工艺中的蚀刻速率恒定和可预测。这需要使用绝对精确和可靠的温度控制解决方案,这些解决方案针对各自的应用领域进行了理想的校准。
品牌其他品牌应用领域医疗卫生,食品,化工,能源,电子

JULABO温度控制器可以减少生产时间

半导体生产中的许多工艺都必须精确控制温度。在几乎无限个单独的步骤中,应用极薄的层,部分遮盖,并以绝对精度去除未遮蔽的部件。蚀刻槽必须保持在最佳温度范围内,以保持湿化学工艺中的蚀刻速率恒定和可预测。这需要使用绝对精确和可靠的温度控制解决方案,这些解决方案针对各自的应用领域进行了理想的校准。


平衡的温度控制系统不仅可以改善生产结果,还可以提高过程可靠性并减少生产时间、成本和维护。

看起来像堡垒的导电路径的生产需要纳米范围内的绝对精度。


蚀刻速率(每次材料去除率)必须知道最小的细节,沈阳汉达森yyds吴亚男并尽可能长时间地保持恒定,以实现纳米范围内的精度。此外,反应产物必须立即溶解,以免污染蚀刻液。


由于反应伙伴溶解在蚀刻液中,其浓度也随着加工晶片数量的增加而降低,这就是为什么必须定期更换的原因。除了浓度之外,蚀刻槽的温度尤其对蚀刻速率有直接影响,因为随着温度的升高,化学溶液通常会变得更加反应。此外,温度会影响反应产物的溶解速度。


JULABO型号

CORIO CD-200F

恒温器 PRESTO W40 

CORIO CP-450F

SW22, SW23, TW20

CORIO CD-B33

CF31


蚀刻槽的温度在半导体工业中起着核心作用。蚀刻槽的最小温度偏差已经会产生灾难性的后果,并使整个晶圆无法使用。因此,在湿化学加工中仅使用高精度和故障安全的温度控制系统。它们必须能够准确地将温度保持在目标范围内,并对温度偏差做出快速反应。此外,更换蚀刻液时,它们必须快速恢复蚀刻槽的正确温度,以确保恒定的生产流程。

JULABO温度控制器可以减少生产时间


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