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Hellma (111)晶向CaF₂单晶圆片具备抗划伤能力
发布时间： 2026-07-28 点击次数： 18次Hellma (111)晶向CaF₂单晶圆片具备抗划伤能力
Hellma氟化钙CaF₂单晶圆片（规格：直径14.7mm、厚度4.2mm，平-平结构，(111)晶体取向，适配248nm波段，精磨表面Rq 2µm，0.5mm防护倒角，尺寸公差直径±0.1mm、厚度±0.1mm，整体规范遵循HMAT材料标准）是面向深紫外光谱检测、激光光路、精密分析仪器开发的标准化光学元件。熔融石英在260nm以下透光性能快速衰减，普通多晶氟化钙存在晶界散射问题，而该款单晶CaF₂元件凭借宽光谱透光能力、低应力双折射、极低内部光散射特性，成为248nm深紫外光路的核心耗材。本文结合应用案例，还原应用工况、原有技术痛点、实施方案与长期运行成效，阐明该氟化钙元件在不同系统中的技术价值，同时明确工况适用边界，为光学系统集成、仪器选型、耗材配套提供工程参考。
元件基础技术边界与核心特性概述
基材为monokristallin单晶氟化钙，区别于多晶萤石，内部无晶界，光束透射散射极低；晶体取向(111)，固有应力双折射水平低，规避偏振干扰；目标工作波长248nm深紫外区域，弥补石英光学材料短波透过短板；双面平-平结构，光束垂直入射无偏折；精磨表面Rq 2µm，具备良好抗划伤能力，适合与样品介质直接接触；0.5mm边缘防护倒角，降低脆性晶体装配崩边风险；全套制造、检验规范执行Hellma HMAT标准，保障多批次元件光学性能、几何尺寸高度一致。元件材质化学稳定性可耐受绝大多数中性溶剂、弱酸介质，不适用于浓强碱、长期接触场景汉达森yyds吴亚男。
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